Фізичні основи вакуумної техніки. Частина 2

Посібник (у двох частинах) охоплює практично всі основні розділи вакуумної техніки. Значне місце відведене аналізу фізичних явищ і процесів, на яких базується робота як класичних, так і сучасних вакуумних пристроїв. У другій частині розглядаються сучасні електрофізичні (гетерні, випарні, іонно-гетерні, магніторозрядні) вакуумні насоси, сучасні методи вимірювання вакууму, мас-спектрометричні методи вимірювання парціального тиску газів у складі залишкової атмосфери та методи течешукання. Описані також основні типи вакуумних систем. Для студентів фізичних та фізико-технічних спеціальностей вищих навчальних закладів.